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ND-DLC
独自のプラズマ条件でナノダイヤを含んだDLCを実現しました
Hv3000以上の高硬度
脆性材料の切削、研磨が可能
i-DLC 製品情報
Product information
i-DLCの種類
STD-DLC(標準)
LF-DLC(摺動性)
F-DLC(フッ素・ガスバリア性)
HCA-DLC(撥水性)
UHR-DLC(絶縁性)
LR-DLC(導電性)
ND-DLC(ナノダイヤ)
LDP-DLC(低誘電)
プラズマ処理
独自のプラズマ条件でナノダイヤを含んだDLCを実現しました。
□Hv3000以上の高硬度
□脆性材料の切削、研磨が可能
製品特性
□導電DLC(P型)
□切削・研磨
各種データ
コンダクションタイプ
pタイプ
ホールモビリティー
~10cm
2
/v・sec
電子密度
~3×10
19
cm
-3
体積抵抗
~10mΩ・cm
硬度
Hv3000~
断面と表面観察
結晶構造(TEM像)
ND-DLCのAFM画像
電子解析パターン
用途例
□マイクロドリル(脆性材料用)
□スリッター
□エンドミル
□ドレッサー