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名称 | STD-DLC 標準 |
LF-DLC 低摩擦 |
フッ素DLC ガスバリヤ |
HCA-DLC 高撥水 |
UHR-DLC 絶縁性 |
LR-DLC 導電 |
ND-DLC ナノダイヤ |
LDP-DLC (低誘電) |
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硬度 Hv | ~2000 | ~1500 | ~600 | ~1000 | ~1200 | ~1000 | 3000~ | ~1200 | |
抵抗率Ω・cm 参考 | ~1010 | ~1012 | ~1010 | ~1010 | 1015~ | ~10-3 | ~10-3 | 1015~ | |
厚膜対応 | ◎ | ○ | △ | △ | ○ | × | × | ○ | |
耐熱温度 | 350℃ | 500℃ | 350℃ | ||||||
成膜温度 | 常温~ | ~400℃ | 400℃ | 常温~ | |||||
摩擦係数 | ~0.1 | ~0.06 | ~0.02 | ~0.2 | 0.5 | ~0.2 | |||
面粗度Rz | < 0.1μm | < 0.2μm | <0.1μm | ||||||
特徴 | 耐磨耗 | ◎ | ◎ | △ | △ | ○ | △ | ○ | ○ |
摺動性 | ○ | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | △ | △ | |
密着性 | ◎ | ||||||||
撥水性 | × | ○ | ○ | ◎ | ○ | × | × | ○ | |
離型製 | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ○ | ○ | |
導電性 | × | ◎ | × | ||||||
適用基材 | アルミ・ニッケル・チタン・Crメッキ、セラミックス・CFRP・ゴム・樹脂・磁性体素材・SUS・超硬・ハイス鋼 等 | SUS・Ni・アルミ等 | 超硬・ハイス鋼等 | 樹脂・セラミック・金属 | |||||
代表的用途 |
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STD-DLC 標準DLC |
プラズマイオン注入・成膜法は幅広い材料に適切なDLCコーティング条件を提案いたします。 |
F-DLC フッ素DLC |
フッ素DLCはガスバリアに優れた特性を示します。 |
HCA-DLC 高撥水・低磨耗DLC |
独自のイオンテクノロジーにより、テフロンと同等の撥水性とDLCの耐磨耗性を両立しました。 |
LR-DLC 導電性DLC |
体積低効10-3Ω・cmを実現し、耐食性に優れたDLCです。 |
UHR-DLC 絶縁強化型DLC |
体積抵抗率 1015Ω ・ ㎝以上、フッ素樹脂並みの絶縁性と滑り性 を実現。 |
ND-DLC ナノダイヤDLC |
独自のプラズマ条件でナノダイヤを含んだDLCを実現しました。 |
LF-DLC 潤滑性 DLC |
摩擦係数及び絶縁性に優れたDLCです。 |
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プラズマ処理 | 各種イオンプラズマ処理により独自の特性を付与します。 |
Nイオンプラズマ:金属の硬度が向上。 | |
Oイオンプラズマ:親水性を付与することが可能。 |